La diferencia clave entre PVD y CVD es que el material de recubrimiento en PVD está en forma sólida, mientras que en CVD está en forma gaseosa.
PVD y CVD son técnicas de recubrimiento, que podemos utilizar para depositar películas delgadas sobre varios sustratos. El recubrimiento de sustratos es importante en muchas ocasiones. El revestimiento puede mejorar la funcionalidad del sustrato; introducir nuevas funciones en el sustrato, protegerlo de fuerzas externas nocivas, etc., por lo que estas son técnicas importantes. Aunque ambos procesos comparten metodologías similares, existen pocas diferencias entre PVD y CVD; por lo tanto, son útiles en diferentes casos.